大尺寸高品質(zhì)金剛石單晶材料生長(zhǎng)裝備。 哈工大機(jī)器人集團(tuán)(HRG)中山雙創(chuàng)基地 供圖

  中新網(wǎng)廣東新聞9月13日電 (李映民 劉勁松)“大尺寸高品質(zhì)金剛石單晶材料生產(chǎn)裝備及工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目11日在哈工大機(jī)器人集團(tuán)(HRG)中山雙創(chuàng)基地正式啟動(dòng)。

  金剛石單晶及制品是超精密加工、智能電網(wǎng)等國(guó)家重大戰(zhàn)略實(shí)施及智能制造、5G通訊等產(chǎn)業(yè)群升級(jí)的重要材料基礎(chǔ)，這一技術(shù)的突破與產(chǎn)業(yè)化對(duì)于中國(guó)智能制造、大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)自主安全具有重大意義。

  該項(xiàng)目于今年6月成功獲批廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃-第三代半導(dǎo)體材料與器件專項(xiàng)，由哈工大機(jī)器人(中山)無(wú)人裝備與人工智能研究院(以下簡(jiǎn)稱“HRG中山研究院”)負(fù)責(zé)總體統(tǒng)籌及規(guī)劃。

  “大尺寸高品質(zhì)金剛石單晶材料生產(chǎn)裝備及工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目11日在哈工大機(jī)器人集團(tuán)(HRG)中山雙創(chuàng)基地正式啟動(dòng)。圖為與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)及專家合影留念。哈工大機(jī)器人集團(tuán)(HRG)中山雙創(chuàng)基地 供圖

  據(jù)了解，HRG中山研究院作為該項(xiàng)目牽頭單位，將聯(lián)合哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)深圳校區(qū)、中電55所、南京中電芯谷開展單晶金剛石及其器件的研究，在大尺寸單晶生長(zhǎng)工藝、高精度微細(xì)加工、高效淺能級(jí)摻雜和器件集成化等方面重點(diǎn)布局，實(shí)現(xiàn)從原理探索到關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)的突破并進(jìn)行產(chǎn)業(yè)技術(shù)儲(chǔ)備，為我國(guó)在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)彎道超車，搶占未來(lái)產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn)以及支撐國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略的實(shí)施提供支撐。

  HRG中山雙創(chuàng)基地背靠粵港澳大灣區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)展前沿優(yōu)勢(shì)，依托HRG中山研究院，圍繞無(wú)人裝備、人工智能、生物醫(yī)藥健康產(chǎn)業(yè)方向，引進(jìn)高端人才、技術(shù)、項(xiàng)目；依托精密儀器與測(cè)量、智能感知、機(jī)器視覺與圖像處理等機(jī)器人領(lǐng)域關(guān)鍵共性技術(shù)，打造創(chuàng)新科技成果轉(zhuǎn)化基地。(完)