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鄒廣田院士:高速生長(zhǎng)CVD金剛石單晶及其應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2022-06-06 14:29:34 

  長(zhǎng)期以來(lái),金剛石憑借其精美的外表,卓越的硬度,一直是晶體材料中最受人們關(guān)注的材料之一。除此之外它還具有比熱低、導(dǎo)熱性好、機(jī)械強(qiáng)度大、抗腐蝕性能好、半導(dǎo)體性能和高溫穩(wěn)定性等優(yōu)良性能,在生產(chǎn)技術(shù)和科學(xué)研究各方面有著廣泛的用途。

  

  根據(jù)金剛石的晶體形態(tài),金剛石可分為單晶體、連生體和聚晶體。其中金剛石單晶由于缺陷少、品質(zhì)高,在某些應(yīng)用領(lǐng)域具有不可替代的作用。但是,天然的金剛石單晶(特別是較大尺寸,晶型、取向等符合應(yīng)用要求的單晶)在自然界中十分稀少,價(jià)格昂貴。

  目前人工合成金剛石單晶的方法主要可分為兩類:高溫高壓法(HTHP),化學(xué)氣相沉積法(CVD)。其中HTHP法可獲取的單粒尺寸相對(duì)較小,而且高溫高壓法合成的單晶可能含有觸媒等雜質(zhì),并且無(wú)法有效地進(jìn)行半導(dǎo)體摻雜;而化學(xué)氣相沉積法(CVD)是通過高溫將氫氣和碳?xì)錃怏w分解成碳?xì)浠钚曰鶊F(tuán),在一定條件下,在襯底材料上沉積出金剛石的方法,該方法理論上尺寸上不受限制,而且制備的金剛石單晶質(zhì)量高,可做到完全無(wú)色透明,幾乎沒有任何雜質(zhì),同時(shí)如果在生長(zhǎng)過程中有選擇性的通入摻雜氣體,便可以制備出多種有色金剛石。

  

  正因擁有如此多的優(yōu)點(diǎn),近年來(lái)大尺寸CVD金剛石單晶的高速生長(zhǎng)成為金剛石領(lǐng)域新的研究熱點(diǎn)。不過要想進(jìn)一步擴(kuò)展CVD金剛石單晶的應(yīng)用范圍,在提高金剛石單晶的生長(zhǎng)速度、生長(zhǎng)質(zhì)量及降低表面粗糙度等方面,還需要繼續(xù)努力。

  在1月6-8日于廣東珠海舉辦的“2021全國(guó)高純粉體與晶體材料創(chuàng)新發(fā)展論壇”上,來(lái)自吉林大學(xué)超硬材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室珠海分實(shí)驗(yàn)室的鄒廣田院士將分享題為《高速生長(zhǎng)CVD金剛石單晶及其應(yīng)用》的報(bào)告。屆時(shí)他將對(duì)CVD法制備單晶金剛石的機(jī)理進(jìn)行分析,并對(duì)單晶金剛石的產(chǎn)業(yè)化提供有價(jià)值的參考。 感興趣的話就不要錯(cuò)過了哦!

  關(guān)于報(bào)告人

  

  鄒廣田院士

  鄒廣田,物理學(xué)家,中國(guó)科學(xué)院院士,吉林大學(xué)教授、凝聚態(tài)物理專業(yè)博士生導(dǎo)師。他長(zhǎng)期從事靜態(tài)高壓物理和超硬材料研究,注重發(fā)展實(shí)驗(yàn)技術(shù),倡導(dǎo)建立創(chuàng)新的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。領(lǐng)導(dǎo)創(chuàng)建了國(guó)際上前五個(gè)獲得百萬(wàn)大氣壓的實(shí)驗(yàn)室之一——超硬材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;發(fā)展了靜水壓實(shí)驗(yàn)技術(shù),曾創(chuàng)造國(guó)際上靜水壓的產(chǎn)生與標(biāo)定的記錄;在國(guó)際上首次發(fā)現(xiàn)和確定了200余個(gè)高壓新相、多種新的壓致相變類型和新奇的壓力效應(yīng),提出了一些新的壓致相變機(jī)制,拓展了對(duì)高壓下物質(zhì)世界的認(rèn)識(shí)。

  他是國(guó)際上最早開展地球及行星內(nèi)部物質(zhì)的高壓研究的物理學(xué)學(xué)者之一,在該領(lǐng)域做出了許多開拓性工作。這些工作為物理學(xué)家、地球物理學(xué)家探索地核和地幔中的物質(zhì)研究開創(chuàng)了諸多新機(jī)遇。他也是國(guó)內(nèi)超硬多功能薄膜材料和多功能高壓相材料的主要開拓者之一?!捌呶濉逼陂g,他領(lǐng)導(dǎo)的課題組于1987年研制出國(guó)內(nèi)第一片金剛石薄膜,世界上第一片按設(shè)計(jì)圖案選擇性生長(zhǎng)的金剛石薄膜,第一片異質(zhì)外延單晶金剛石膜,在國(guó)際上首次將CVD金剛石膜用做半導(dǎo)體激光器的熱沉,現(xiàn)在此技術(shù)已成為大功率半導(dǎo)體激光器散熱的主要方法之一。這些成果引發(fā)了后續(xù)大量的工作,為CVD金剛石的應(yīng)用打下了良好的基礎(chǔ)。

  經(jīng)過半個(gè)世紀(jì)的艱苦創(chuàng)業(yè)、辛勤耕耘,他已成為我國(guó)高壓物理的領(lǐng)軍人物和國(guó)際上有影響的高壓物理學(xué)家。曾連任2屆國(guó)際高壓科學(xué)與技術(shù)協(xié)會(huì)(AIRAPT)副主席和4屆國(guó)際地球內(nèi)部物質(zhì)的物理性質(zhì)委員會(huì)委員,多次重要國(guó)際會(huì)議主席,國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)物理與天文學(xué)評(píng)議組成員、中國(guó)物理學(xué)會(huì)理事、高壓物理專業(yè)委員會(huì)主任,吉林省物理學(xué)會(huì)理事長(zhǎng),現(xiàn)任吉林省物理學(xué)會(huì)名譽(yù)理事長(zhǎng),第六屆教育部科技委數(shù)理學(xué)部主任等。榮獲2014年國(guó)家自然科學(xué)二等獎(jiǎng)和2013年吉林省科學(xué)技術(shù)特殊貢獻(xiàn)獎(jiǎng)以及省部級(jí)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)5項(xiàng);現(xiàn)主持自然科學(xué)基金委國(guó)家重大科研儀器設(shè)備研制專項(xiàng)“新一代大型超高壓產(chǎn)生裝置”。合作發(fā)表論文500余篇、專著4本,獲國(guó)家發(fā)明專利授權(quán)30余項(xiàng)。一些論文作為原始文獻(xiàn)在SCI收錄雜志、國(guó)外專著和文集廣為引用。他為我國(guó)高壓科學(xué)和超硬多功能新材料的發(fā)展做出了卓越貢獻(xiàn)。

  粉體圈會(huì)務(wù)組